低溫等離子工業(yè)廢氣處理設備作為一種新型的氣態(tài)污染物處理技術是一種集物理，化學，生物和環(huán)境科學于一體的交叉集成電子化學技術廢氣處理設備，因為能很容易使污染物分子高效分解且處理能耗低等特點，是較多的一種國內外大氣污染控制的有前途和有效的廢氣處理設備。它具有較為廣泛的使用和推廣前景，它為工業(yè)領域中的VOC有機廢氣和惡臭氣體治理開辟了新的思路。

　　1、主要采用脈沖高頻高壓等離子電源和雙介質齒板放電裝置，端子放電形式產(chǎn)生高濃度離子。等離子體是一種聚集材料，其高能電子可以在幾毫秒內瞬間穿透空氣和排氣分子，發(fā)生一系列的分化和裂解反應，產(chǎn)生高濃度，高強度，高能量活動自由度。堿和各種電子，離子等，當與機器廢氣中的分子碰撞時發(fā)生一系列物理化學反應，并在反應過程中產(chǎn)生各種活性自由基和生態(tài)氧，即由原子氧產(chǎn)生的臭氧分解。

　　2、活性自由基可以有效地破壞各種病毒和細菌中的核酸和蛋白質，使它們無法進行正常的新陳代謝和生物合成，從而導致它們死亡；生態(tài)氧可迅速在血漿中含有大量有機廢氣分子。高能電子，正離子和負離子，激發(fā)態(tài)粒子和具有強氧化性質的后型自由基。這些活性顆粒與一些廢氣分子碰撞，同時產(chǎn)生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性極強的O3，能與有害氣體分子發(fā)生化學反應，生成無害產(chǎn)物。